原文：https://www.cnblogs.com/guanguanchangyu/p/12725078.html
遇到一个在Windows Server2012 R2系统，IIS服务器启动问题，无论如何尝试启动IIS，始终提示“当文件已存在时，无法创建该文件”，一个令人懵比的问题，文件已存在，哪里存在了？不知道，就只能够盲人摸象，一步步排查，开始填坑，此处以Win10作为问题复现环境
系统中安装好IIS，在未做任何修改之前，IIS能够正常启动和访问，因为个人需要对C:WindowsSystem32inetsrvconfigschemaIIS_schema.xml文件进行部分修改配置，由于涉及到系统，所有，一般在修改前会习惯性的对文件保留一个副本，于是出现如下结构目录
意外出现
关闭IIS后，再次启动，出现如下错误：
这是啥问题？于是将之前修改过的变更，进行还原，万能重启，还是不行，IIS这就崩了？心中无数头羊驼，在奔腾~，又不想重装系统，喝口热茶，缓解一下紧张气氛，接着找问题
问题排查
通过查阅网上资料可以知道，IIS正常启动依托至少两个服务，一个是W3SVC也就是World Wide Web Publishing Service，一个是WAS也就是Windows Process Activation Service，查找到这两个服务，发现当前两个服务都未能启动，先尝试W3SVC，启动提示“服务依赖或者工作组异常”，查看服务属性，其中的依赖，一个个核对
服务停止
启动提示
启动W3SVC服务出现依赖服务或组无法启动，修改之前IIS是能够正常使用的，说明组件是完整的，需要查看服务的依赖服务或者相关组是否启动
查看依赖
打开本地服务，在服务列表中找到World Wide Web Publishing Service，查看对应的属性信息，具体信息如下：
发现W3SVC的依赖项其中之一是WAS，其余依赖性都已经启动，唯独WAS未启动，因而，异常问题定位到WAS服务未启动上，尝试启动，提示信息与启动IIS启动时保持一致
原因
将对应的服务名称和错误信息，进行浏览器搜索，得到一个解决方案，此处为传送门Windows Process Activation Service无法启动，错误183，虽然是描述较少，好在问题和本人的问题是一模一样，网友自问自答，也是很好的，在inetsrvconfigschema文件夹下，所有文件不能存在备份文件，之前为了保留原有文件，进行文件副本的保留，造成服务启动过程中，运行异常，而WAS又是W3SVC的依赖服务，故而，两个服务都无法启动运行，删除掉C:WindowsSystem32inetsrvconfigschemaIIS_schema-副本.xml文件
依次启动WAS和W3SVC服务，能够正常启动
再次启动IIS就能够正常使用了，免于系统的重装，当然，环境也保住了