1. FA(Factory Automation)的目的
生产费用减少
通过自动化减少人力
提高生产力
通过中央控制增加产量
减少操作人员的失误
通过对设备状态的把握预测和预防错误
设备管理的最大化
通过检测设备状态计划性的分配设备保养和工作的时
2. 半导体设备通信标准
通信协议属于 SEMI 标准中的设备自动化/软件标准,包括 SECS-I、HSMS、SECS-II 和 GEM 四个标准。其实还有一个最新国际标准EDA(Interface A) ,但不在本系列文章的探讨范围内。
2.1 标准描述
SECS-I
属于传输协议标准,描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的,通过 RS-232C 通信来传送SECS-II 数据的规范。
SEMI E4 : SEMI Equipment Communications Standard 1 Message Transfer
SECS-II
属于消息格式标准,定义了在设备与主机之间进行双向会话时所使用的消息格式。
SEMI E5 : SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content
HSMS
属于传输协议标准,描述数据是如何通过物理层在设备与主机之间进行传输的,使用的传输媒质是以太网。通过以太网来传送SECS-II 数据的规范。
SEMI E37 : High-speed SECS Message Services Generic Services
GEM
属于设备功能标准,定义了通过通信链路所能看到的设备接口,指定了根据特定的消息设备所应该采取的对应的行为。
定义设备驱动的标准,对设备工作的scenario和当时所使用的SECS-II 消息们的捆绑。
SEMI E30 : Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (制造设备通信和控制的通用模型)